Oljefri luftkompressor for Semiconductor Labs

For å etablere pålitelige verktøylinjer for presisjonsforskningsanlegg, kilde fra China Oil Free Air Compressor for Semiconductor Labs leverandører. DECHUANs luftløsninger med høy renhet bruker flerlags karbonisolasjonsforseglinger for å eliminere spor av hydrokarboner, og sikrer uberørt gasskvalitet for kritisk silisiumetsing.

Kritiske renromsgassrenhetskrav

Ved halvlederfabrikasjon og tynnfilmlitografi kan selv en enkelt mikroskopisk dråpe oljedamp som føres gjennom luftledningen ødelegge en hel produksjonsbatch. Dette spesialiserte produktet er konstruert for å møte de absolutt høyeste standarder for renhet:

• TÜV-sertifisert klasse 0 luftlevering: Systemene våre gjennomgår strenge tester på tvers av variable driftstemperaturer. Uavhengig analyse bekrefter absolutt null spor av olje i den utgående luftstrømmen.

• Korrosjonsfrie interne luftbaner: Hvert stykke rør, kjølerbunt og separasjonsmatrise nedstrøms for kompresjonskammeret er laget av førsteklasses rustfritt stål for å forhindre rustflak fra å forurense renromsluftledninger.

• Avansert Elektronikon®-integrasjon: Den integrerte kontrolleren følger driftsmålinger nøye og har proaktive sikkerhetsavstengninger for å sikre at ingen uren luft noen gang kommer inn i laboratoriet.

De høye kostnadene ved mikroforurensning i elektronikk

Ved fremstilling av halvlederwafere kan en enkelt dråpe oljeaerosol forurense et helt renromsmiljø, ødelegge tusenvis av silisiumwafere og forårsake millioner i tapt produksjonstid. Tradisjonelle luftkompressorer kan ikke garantere den absolutte null-hydrokarbonrenheten som kreves for disse prosessene i nanometerskala.

Den spesialiserte oljefrie luftkompressoren for Semiconductor Labs garanterer ren prosesssikkerhet:

• Sertifisert KLASSE 0 luftstrøm: Testet strengt av TÜV over ekstreme termiske og trykkområder for å sikre absolutt null oljetilstedeværelse.

• Partikkelfrie innvendige deler: Forkjølere i rustfritt stål og varmevekslere med stjernefinner eliminerer oksidasjonsflak eller kjemisk utslipp i luftbanen.

• Elektronisk overvåkingsskjold: Proaktive vedlikeholdsalarmer og automatiske feilstanser forhindrer systemavvik før de når renromsverktøyene dine.

Tekniske renhetsparametere

• Systemeffekt: 55kw - 900kw konfigurasjoner med høy tetthet.

• Volumetrisk leveringshastighet: 4,2 - 148,5 m³/min ren strømutgang.

• Oljeinnholdsklassifisering: ISO 8573-1 Klasse 0 fullstendig oljefri validering.

• Kjøleoppsett: Væskekjøling i rustfritt stål som forhindrer kjemisk utgassing.

Ytelsesreferanseforhold for enheten ble målt i henhold til vedlegg C, 4. utgave (2009) av ISO 1217:

· Relativ fuktighet: 0 %

· Absolutt innløpstrykk: 1 bar

· Innløpstemperatur: 20°C Utladningshastighet (FAD) ble målt ved følgende driftstrykk:

Type konstant hastighet:

·  -7,5 bar type: 7 bar

· -8,6 bar type: 7 bar

· -10 bar type: 9 bar

VSD type:

· -8,6 bar type: 7 bar

· -10,4 bar type: 9 bar

· (2) Klasse A vektet emisjonslydtrykknivå for arbeidsstasjonen (LpWSAd). Målt i henhold til ISO 2151:2004 (ved bruk av 150 9614/2 lydintensitetsskannemetode). Den nylig lagt til korreksjonsfaktoren er en fullstendig usikker verdi (KpAd), i samsvar med testkoden.

· (3) Vekt er kun for referanse; den faktiske leverte vekten skal gjelde.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

I henhold til ISO 1217 vedlegg C, 4. utgave (2009), er enhetens ytelsesreferansebetingelser som følger:

· Relativ fuktighet: 0 %

· Absolutt innløpstrykk: 1 bar

· Innløpstemperatur: 20°C

Forskyvning FAD måles ved følgende driftstrykk:

Modeller med konstant hastighet:

-7,5 bar modeller: 7 bar

-8,6 bar modeller: 7 bar

-10 bar modeller: 9 bar

VSD-modeller:

-8,6 bar modeller: 7 bar

-10,4 bar modeller: 9 bar

(2) Klasse A vektet emisjonslydtrykknivå for arbeidsstasjonen (LpWSAd). Målt i henhold til ISO 2151:2004 (ISO 9614/2 lydintensitetsskannemetode). Den nylig lagt til korreksjonsfaktoren KpAd er usikker, og samsvarer med testkoden.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Vekt er kun for referanse; faktisk vekt skal gjelde.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Relativ fuktighet:0 %

-Absolutt innløpstrykk: 1bar

- Innløpstemperatur: 20°℃

Utladningshastighet (FAD) ble målt ved følgende driftstrykk

Type konstant hastighet:

-7,5 bar type: 7 bar

-8,6 bar type: 7 bar

-10 bar type: 9 bar

VSD-type:

-8,6 bar type: 7 bar

-10,4 bar type: 9 bar

(2) Klasse A vektet emisjonslydtrykknivå for arbeidsstasjonen (LpWSAd).

Målt i henhold til ISO 2151:2004 (ved bruk av 150 9614/2 (lydintensitetsskannemetode).

Den nylig lagt til korreksjonsfaktoren er en fullstendig usikker verdi (KpAd), i samsvar med testkoden.

(3) Vekt er kun for referanse; den faktiske leverte vekten skal gjelde.

ZR 300-750

Ytelsesreferanseforhold for enheten ble målt i henhold til vedlegg C, 4. utgave (2009) av ISO 1217:

· Relativ fuktighet: 0 %

· Absolutt innløpstrykk: 1 bar

· Innløpstemperatur: 20°C Utladningshastighet (FAD) ble målt ved følgende driftstrykk:

Type konstant hastighet:

·  -7,5 bar type: 7 bar

· -8,6 bar type: 7 bar

· -10 bar type: 9 bar

VSD type:

· -8,6 bar type: 7 bar

· -10,4 bar type: 9 bar

· (2) Klasse A vektet emisjonslydtrykknivå for arbeidsstasjonen (LpWSAd). Målt i henhold til ISO 2151:2004 (ved bruk av 150 9614/2 lydintensitetsskannemetode). Den nylig lagt til korreksjonsfaktoren er en fullstendig usikker verdi (KpAd), i samsvar med testkoden.

· (3) Vekt er kun for referanse; den faktiske leverte vekten skal gjelde.

ZR 200X-400X

Ytelsesreferanseforhold for enheten ble målt i henhold til vedlegg C, 4. utgave (2009) av ISO 1217:

· Relativ fuktighet: 0 %

· Absolutt innløpstrykk: 1 bar

· Innløpstemperatur: 20°C Utladningshastighet (FAD) ble målt ved følgende driftstrykk:

Type konstant hastighet:

·  -7,5 bar type: 7 bar

· -8,6 bar type: 7 bar

· -10 bar type: 9 bar

VSD type:

· -8,6 bar type: 7 bar

· -10,4 bar type: 9 bar

· (2) Klasse A vektet emisjonslydtrykknivå for arbeidsstasjonen (LpWSAd). Målt i henhold til ISO 2151:2004 (ved bruk av 150 9614/2 lydintensitetsskannemetode). Den nylig lagt til korreksjonsfaktoren er en fullstendig usikker verdi (KpAd), i samsvar med testkoden.

· (3) Vekt er kun for referanse; den faktiske leverte vekten skal gjelde.

Brukercasestudie for renromslaboratorium

En elektronikkprodusent i Asia installerte DECHUANs spesialiserte luftsystem for å levere sløyfer for generering av nitrogen med høy renhet og pneumatiske testarmer. Tidligere tillot standard kompressorer sporoljedamper å migrere forbi inline-filtre, belegge litografilinser og forårsake mikrobrudd i waferbelegg. Etter å ha installert den oljefrie luftkompressoren for Semiconductor Labs, rapporterte laboratoriet null hendelser med oljerelatert linjeforurensning, noe som sparte betydelige rengjørings- og rekalibreringskostnader i renrom i løpet av to år med kontinuerlig drift.

Skreddersydd og kontroll av tilpassede komponenter

• Materialoppgradering av rustfritt stål: Vi erstatter alle standard interne støpte komponenter med rustfritt stål av høy kvalitet for å oppfylle strenge retningslinjer for mikroforurensning.

• Avanserte kommunikasjonsprotokoller: Enheten er forhåndsinstallert med spesialiserte kommunikasjonsprotokoller, som gjør at kontrollsentre for renrom kan overvåke luftmålinger eksternt.

• Kompakt strukturelt fotavtrykk: Interiøroppsettet er optimalisert for å minimere fotavtrykk, noe som gjør det enkelt å installere i trange laboratoriekjellerbruksrom.

Vanlige spørsmål om industrielle kjøpere

Spørsmål: Kan vi koble denne kompressoren direkte til ultra-high-purity (UHP) filtreringssløyfer?

A: Ja, luftutgangen vår er fullt kompatibel med avanserte tørketromler for renrom og sub-mikron partikkelfiltreringssystemer. Fordi den rå luften ikke inneholder oljedamp, vil ikke spesialiserte filtre på bruksstedet bli tilstoppet med oljetåke, noe som forlenger filterets levetid.

Spørsmål: Hvordan sikrer Z-type tetninger null oljemigrering fra girenheten?

A: Den oljefrie luftkompressoren for Semiconductor Labs har et fysisk atmosfærisk ventilasjonsrom mellom det oljesmurte girhuset og det tørre kompresjonskammeret. Spesialiserte berøringsfrie karbonringtetninger er sammenkoblet med negative trykkkanaler, noe som sikrer at all giroljetåke er fullstendig blokkert fra å komme inn i den rene luftstrømmen.

Spørsmål: Hva skjer hvis en intern temperatursensor oppdager en unormal avlesning?

A: Elektronikon®-kontrolleren prøver viktige data flere ganger per sekund. Hvis en temperaturøkning oppdages på et hvilket som helst stadium, utløser systemet øyeblikkelig en automatisk avstengning og lukker isolasjonsventilene, noe som sikrer at ukjølt luft aldri strømmer nedstrøms inn i laboratoriets sensitive utstyr.